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當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章MDP少子壽命測試儀 | 鐵濃度測定

MDP少子壽命測試儀 | 鐵濃度測定

更新時間:2023-06-11點(diǎn)擊次數(shù):1050

有了MDPingot和MDPmap系列,就可以全自動地測量磚塊和硅片中的鐵濃度,而且分辨率非常高。鐵硼對解離前后的壽命測量是一種**使用的測定硅片中鐵的方法。在高摻雜濃度的摻硼硅中,因為它被用于光伏應(yīng)用,幾乎100%的電活性鐵以FeB對的形式存在。在有足夠能量的光照下,這些鐵對可以在Fe和B中解離。這個過程是可逆的,在一段時間后,所有的FeB對都會再次結(jié)合。FeB和Fei有不同的重組特性,因此解離對測量的壽命有影響。在這種影響下,鐵的濃度可以通過以下方式確定

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對于鐵的測定,使用了一個校準(zhǔn)系數(shù)C,它取決于注入、摻雜濃度和陷阱濃度,這在多晶硅中必須加以考慮。通過MDP,可以對多晶硅和單晶硅進(jìn)行高分辨率的鐵濃度測定,并且由于模擬和多年的研究,還具有很高的精度。


照明前的壽命圖和產(chǎn)生的鐵圖

關(guān)于鐵的測定和校準(zhǔn)系數(shù)的依賴性的更多信息,請閱讀:

[1] S. Rein and S. W. Glunz, Journal of Applied Physics 98 (2005).

[2] N.Schüler, T.Hahn, K. Dornich, J.R. Niklas, Solid State phenomena to be published


陷阱濃度測定的工具

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MDPmap

單晶和多晶晶片壽命

測量裝置......

MDPpro

單晶和多晶晶片和晶磚

壽命測量裝置......

MDPspot

低成本臺式壽命測量系統(tǒng),用于在不同制備階......




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