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德國弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀）是一款靈活的OEM設(shè)備，可以用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。配置標(biāo)準(zhǔn)軟件接口，易于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。

MDPinline（MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測）是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內(nèi)，就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，有效提高了生產(chǎn)線的成本效益和效率。且其實時質(zhì)量檢測可以提高和優(yōu)化諸如擴(kuò)散和鈍化等處理步驟。

德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot（MDP晶錠在線面掃檢測儀--進(jìn)口少子壽命測試）系統(tǒng)是快速多晶硅晶錠電學(xué)參數(shù)特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發(fā)的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜（壽命，光電導(dǎo)率，電阻率）都可以同時進(jìn)行測量。

德國Freiberg Instruments的MDPicts（MDP微波探測光誘導(dǎo)電流瞬態(tài)譜儀--少子壽命），非接觸且無損傷，用于溫度依賴的少數(shù)載流子壽命測量以及半導(dǎo)體的界面陷阱和體陷阱能級的電性能表征。MDpicts將在半導(dǎo)體材料的基礎(chǔ)研究與開發(fā)領(lǐng)域取得廣泛的應(yīng)用。

臺式PID（Potential Induced Degradation）潛在誘導(dǎo)退化測試儀，用于c-Si太陽能電池和光伏迷你組件的售前和安裝后質(zhì)量檢測。

晶圓片晶錠壽命檢測儀用于常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量